ASML 首台全新极紫外光刻机已完成交付,生产力提高 15% 到 20%

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大海无量
大海无量 2021-07-21 19:00
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IT之家 7 月 21 日消息 荷兰光刻机设备生产商阿斯麦(ASML)今日公布了 2021 年第二季度财报。

财报显示,阿斯麦公司第二季度净销售额 40 亿欧元,毛利率 50.9%,净收入 10 亿欧元。此外,ASML 预计 2021 年第三季度的净销售额在 52 亿至 54 亿欧元之间,毛利率在 51% 至 52% 之间。

阿斯麦表示,其第二季度的净预订额为 83 亿欧元,其中 49 亿欧元来自 EUV 系统,使总积压订单达到 175 亿欧元。

在其财报中还透露了一段重大信息,ASML 第一台 TWINSCAN NXE:3600D 系统已交付给客户。与 TWINSCAN NXE:3400C 相比,该系统提高了 15% 到 20% 的生产力,并提高了约 30% 的覆盖率(套刻精度)。

IT之家了解到,ASML 表示他们正努力增加 EUV 在存储产业的量产应用,并将计划协助三个 DRAM 客户实现在未来的制程节点中导入 EUV。

在其 DUV 业务中,TWINSCAN NXT:2000i(一种 ArFi 浸入式系统)创下了单日在客户处曝光 6,300 多片晶圆的记录。

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